有没有告诉我，这是怎么回事呀？镀增透膜时（靶材为二氧化硅）曲线波动大，这是怎么回事呀?
2024-11-22 阅读 8
在镀增透膜过程中，曲线波动大可能是由于以下几个原因导致的：
1. 靶材表面不均匀：靶材表面的不均匀性会导致镀膜过程中的波动，可能是靶材表面有污染物或者凹凸不平导致的。
2. 沉积速率不均匀：镀膜过程中沉积速率的不均匀性也会导致曲线波动大，可能是镀膜设备设置不当或者操作不当导致的。
3. 气体流动不稳定：镀膜过程中气体流动不稳定也会引起曲线波动大，可能是气体流量控制不准确或者真空度不稳定导致的。
针对这些问题，可以尝试优化靶材表面的处理、调整沉积参数、检查设备状态等方法来减小曲线波动，确保镀膜过程的稳定性和均匀性。
更新于 2024年11月25日
