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电子束光刻的BeamBlur指的是什么？
2024-03-15 阅读 11
电子束光刻中的BeamBlur是指电子束在被聚焦后由于各种因素导致的束斑模糊现象。这种模糊可能来自于电子光学系统的像差、振动或热漂移等因素，会影响到最终图案的分辨率和精度。因此，减小BeamBlur是电子束光刻技术中需要解决的重要问题之一。
更新于 2024年11月21日
