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电子束光刻的dose和能量是什么关系？
2024-03-13 阅读 11
电子束光刻中的dose（剂量）通常是指单位面积上的电子束能量。在电子束光刻中，电子束的能量和dose之间的关系取决于所使用的电子束设备和工艺参数。通常来说，提高电子束的能量会增加每单位面积上的dose，从而可以更好地控制光刻的精度和分辨率。但是，过高的能量可能会导致样品表面的损伤或者其他问题，因此需要在能量和dose之间取得平衡，以获得最佳的光刻效果。
更新于 2024年11月21日
