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光刻机中，光源的光强衰减原理是什么？
2024-11-20 阅读 10
光刻机中，光源的光强衰减原理通常是由于光源本身的老化、光学元件的污染或损坏、光路中的散射等因素导致的。随着使用时间的增加，光源的亮度逐渐降低，这可能会影响光刻机的曝光效果和成像质量。因此，定期检查和维护光源是保证光刻机稳定工作的重要措施之一。
更新于 2024年11月22日
