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哈工大获奖的「放电等离子体极紫外光刻光源」处于什么水平？
2025-01-01 阅读 82
哈尔滨工业大学获奖的「放电等离子体极紫外光刻光源」处于国际领先水平。这项技术是在半导体制造过程中用于微影技术的光源，具有高能量、高稳定性、高光谱纯度等优点，能够提高芯片制造的精度和效率，对半导体产业具有重要意义。这项技术的获奖表明了哈尔滨工业大学在光电领域的研究实力和创新能力得到了国际认可。
更新于 2025年01月01日
