为什么MEMS工艺不能做轴承？
2023-08-01 阅读 131
MEMS（微机电系统）工艺主要用于制造微小的机械结构和传感器，其尺寸通常在微米到毫米的范围内。而轴承是用于支撑和减少机械摩擦的设备，通常需要承受较大的载荷和旋转速度。
MEMS工艺的制造方法通常是通过沉积、光刻、腐蚀等微纳加工技术来制造微小的结构。然而，由于MEMS工艺的制造尺寸限制以及材料的选择，使得它难以制造能够承受高载荷和高速旋转的轴承。
首先，MEMS工艺制造的结构尺寸较小，无法容纳足够大的轴承滚珠或滚子。轴承通常需要具有足够的尺寸和强度来承受载荷，而MEMS工艺制造的结构尺寸限制了轴承的尺寸和承载能力。
其次，MEMS工艺使用的材料通常是脆性材料，如硅、玻璃等，而轴承通常需要使用耐磨损和耐腐蚀的材料，如钢。脆性材料在承受高载荷和高速旋转时容易发生破裂或磨损，无法满足轴承的要求。
另外，MEMS工艺制造的结构通常是静态或微小运动的，而轴承需要具有较大的旋转运动。MEMS工艺制造的结构在旋转运动时容易出现摩擦和磨损，无法满足轴承的要求。
综上所述，由于MEMS工艺的制造尺寸限制、材料选择和结构运动特性等因素，使得它难以制造能够承受高载荷和高速旋转的轴承。因此，MEMS工艺通常不适用于制造轴承。
更新于 2023年08月01日
