白光垂直扫描干涉测量样品表面形貌时，样品比较陡峭的地方，如台阶边缘会出现蝠翼，产生蝠翼的机理是什么？
2023-05-28 阅读 40
蝠翼现象是白光干涉测量中常见的一种误差，它通常出现在样品表面的陡峭边缘或者突出物的周围。产生蝠翼的机理主要涉及到两个方面：一是白光的色散效应，二是干涉仪的分辨率限制。
首先，白光是由多种波长的光混合而成的，不同波长的光在空气中传播的速度不同，因此在样品表面反射后的光程差也会随着波长的变化而发生变化。这种波长相关的光程差会导致干涉图案的颜色发生变化，从而产生蝠翼现象。
其次，干涉仪的分辨率限制也是产生蝠翼的重要原因。干涉仪的分辨率取决于光源的波长和干涉仪的光学结构，当样品表面的形貌变化比干涉仪的分辨率还要小的时候，干涉仪就无法分辨出这些微小的变化，从而产生蝠翼现象。
综合以上两个因素，当样品表面存在陡峭边缘或者突出物时，由于这些地方的形貌变化比较剧烈，会导致白光的波长相关光程差增大，同时干涉仪也无法分辨出这些微小的变化，从而产生蝠翼现象。
更新于 2023年05月28日
