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离子束流加工在微纳加工中的作用是什么？
2023-05-09 阅读 31
离子束加工是一种利用高能离子束对材料表面进行加工的技术。在微纳加工中，离子束加工可以用于制造微纳米结构，例如用于制造微纳米器件和纳米传感器等。离子束加工可以实现高精度、高速度和高质量的微纳加工，同时可以对各种材料进行加工，包括金属、半导体、陶瓷、聚合物等。此外，离子束加工还可以实现纳米级别的表面改性，例如增强材料的硬度、耐磨性、耐腐蚀性等。因此，离子束加工在微纳加工中具有重要的作用。
更新于 2023年05月10日
