能否利用太阳光中的 EUV，并用计算光学设计出大尺寸光罩，从而实现“空间光刻机”?
2023-04-24 阅读 52
在理论上，可以利用太阳光中的EUV来制造大尺寸光罩，但是实际上存在一些技术上的挑战。首先，EUV波长非常短，只有几纳米，因此需要采用非常精密的光学设计和制造技术来控制光的传播和聚焦。其次，太阳光中的EUV强度非常低，需要采用非常敏感的探测器来检测光的强度，同时需要采用非常高效的光学元件来捕获和聚焦光线。最后，由于太阳光中的EUV波长非常短，因此需要采用非常高分辨率的光学元件来实现精细的光刻图案。因此，虽然理论上可以利用太阳光中的EUV来制造大尺寸光罩，但是实际上需要克服一系列技术难题才能实现“空间光刻机”。
更新于 2023年04月30日
