自耗炉真空系统的操作需要什么样的设备?
2023-12-28 阅读 42
自耗炉真空系统的操作需要以下设备:
1. 真空泵:用于将炉腔内的空气抽出,创建真空环境。常用的真空泵包括机械泵、分子泵和扩散泵等。
2. 真空计:用于测量炉腔内的真空度。常见的真空计有热阴极离子化真空计、热电阻真空计和毛细管真空计等。
3. 气体供应系统:用于控制炉腔内的气体组成和压力。包括气体流量控制器、气体纯化器和气体压力调节器等。
4. 温度控制系统:用于控制炉腔内的温度。常见的温度控制设备有炉膛加热器、温度传感器和温度控制器等。
5. 炉腔密封装置:用于确保炉腔内的真空环境不受外界气体干扰。常见的密封装置有O形密封圈、金属密封和磁力密封等。
6. 控制系统:用于控制和监测整个真空系统的运行状态。包括仪器仪表、控制面板和计算机控制系统等。
需要根据具体的实验需求和炉腔尺寸选择适合的设备,并按照操作规程进行操作和维护。
更新于 2023年12月28日