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低能量和高通量等离子辐照是为了实现什么？其中高通量是什么意思。?
2023-12-05 阅读 27
低能量和高通量等离子辐照是为了实现材料的改性和表面处理。其中，高通量指的是单位时间内辐照粒子数的多少，即辐照通量的高低。在等离子辐照过程中，高通量的辐照可以加快材料的辐照速度，提高处理效率。同时，低能量的等离子辐照可以实现对材料表面的精细处理，如表面清洁、薄膜沉积、纳米结构形成等。因此，通过低能量和高通量等离子辐照，可以实现对材料性能的改善和表面特性的调控。
更新于 2023年12月05日
