我的真空工艺真空度要求很高，应该如何选择进气过滤器？
2024-12-19 阅读 84
选择进气过滤器时，您需要考虑以下几点：
1. 过滤级别：根据您的真空工艺对空气质量的要求，选择合适的过滤级别。通常情况下，高真空度要求的工艺需要选择高效过滤器，如HEPA过滤器或ULPA过滤器。
2. 过滤器材质：选择耐高温、耐腐蚀的材质，以确保过滤器在高真空环境下能够稳定工作。
3. 过滤器尺寸：根据进气口的尺寸和工艺需求选择合适尺寸的过滤器，确保过滤器能够完全覆盖进气口。
4. 压降：考虑过滤器的压降，选择适当的压降范围，以确保系统正常工作。
5. 维护方便性：选择易于更换和清洁的过滤器，以便定期维护和更换，保持系统的稳定性和高真空度。
综合考虑以上因素，选择适合您真空工艺要求的进气过滤器，可以确保系统稳定运行并满足高真空度要求。
更新于 2024年12月19日
