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薄膜厚度在线测厚仪测量原理是什么？
2024-11-28 阅读 17
薄膜厚度在线测厚仪通常使用的原理是X射线荧光或β射线吸收。当X射线或β射线穿过被测薄膜时，根据薄膜的材料和厚度，部分射线会被薄膜吸收或散射。测厚仪通过检测射线的衰减程度来计算薄膜的厚度。通过测量射线的强度变化，可以准确地确定薄膜的厚度，实现在线测量。
更新于 2024年11月30日
