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蚀刻为什么要真空？
2024-04-10 阅读 10
蚀刻过程中需要真空的主要原因有两个： 1. 避免氧化：在真空环境下，可以避免氧气和水汽等氧化性物质与被加工的材料发生反应，从而保护材料表面不被氧化，确保蚀刻的精确性和稳定性。 2. 提高蚀刻效率：真空环境下，可以减少气体分子的阻力，提高蚀刻速度，同时也有利于排除蚀刻过程中产生的气体和蒸汽，保持蚀刻过程的稳定性。 因此，真空环境对于蚀刻过程的控制和效果至关重要。
更新于 2024年11月21日
