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我国193nm浸没式DUV什么时候能量产?
2024-04-10 阅读 77
目前，我国的193nm浸没式DUV曝光机尚未量产。虽然中国在半导体制造领域取得了一些进展，但要实现量产仍需要时间和技术积累。预计中国在未来几年内可能会逐步提升自主研发能力，推动193nm浸没式DUV曝光机的量产。
更新于 2024年11月21日
