光学临近效应修正中MB-OPC如何建立测试图形？
2023-04-24 阅读 58
光学临近效应修正中的MB-OPC（Model-Based Optical Proximity Correction）需要建立测试图形来进行验证和优化。以下是建立测试图形的步骤：
1. 选择测试图形：测试图形应该具有代表性，包含设计规则库中的各种结构，并且大小适中，以便于计算。
2. 设计测试图形：使用设计软件（如CAD）绘制测试图形，并生成GDSII格式的文件。
3. 生成模拟数据：使用光学模拟软件（如PROLITH）对测试图形进行模拟，生成模拟数据。
4. 进行MB-OPC校正：使用MB-OPC软件对测试图形进行校正，并生成校正后的GDSII文件。
5. 检验校正效果：使用光学模拟软件对校正后的测试图形进行模拟，比较模拟数据和实际数据的差异，以评估校正效果。
6. 优化参数：根据检验结果，调整MB-OPC的参数，重新进行校正和检验，直到达到最佳效果。
需要注意的是，测试图形的设计应该考虑到实际生产中可能出现的情况，例如不同的曝光条件、材料特性等。同时，校正效果的评估也需要综合考虑不同的指标，如CD偏差、图形形状等。
更新于 2023年04月30日
